A碱性
B酸性
C中性
（简答题）
衬底清洗过程包括哪几个步骤？
答案解析
（填空题）
化学清洗中是利用硝酸的强（）和强（）将吸附在硅片表面的杂质除去。
硅片减薄腐蚀液为氢氟酸和硝酸系腐蚀液。砷化镓片用（）系、氢氧化氨系蚀腐蚀液。
