A对
B错
（单选题）
还原退火炉内保护气体H2的露点为（）℃。
答案解析
还原退火炉保护气体O2的露点为（）℃
（填空题）
进入还原退火炉的保护气体，氧气≤5PPM，露点≤（）℃。
还原退火炉内充满（）保护气体。
还原退火炉内保护气体N2中O2含量应小于（）ppm。
还原退火炉内保护气体H2中，O2含量应小于（）ppm。
还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。
要保证退火炉内的露点要求，纯化后的氮气的露点要小于（）。
（判断题）
在还原退火炉中，惰性气体是保护气体。（）
